簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="高功率元件"


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    氣液輔助化學機械拋光應用於單晶碳化矽基板之平坦化製程分析研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 張士宸 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC),具有高崩潰電壓(High Breakdown Voltage)及低的阻抗, 因此在高功率元件市場的潛力無窮,但單晶碳化矽基板也因高硬度及高…
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